[Analysis Insight] 보이지 않는 오염까지 잡아내는 코미코 화학 분석

반도체 공정 장비와 부품은 플라즈마, 산·알칼리 용액, 반응성 가스 등 다양한 화학적 환경에 노출됩니다. 이 과정에서 부품 표면의 화학적 변화는 장비 성능 저하나 공정 불균형으로 이어질 수 있습니다.

따라서 공정 안정성과 제품 신뢰성 확보를 위해 장비 부품의 화학 분석은 필수입니다. 코미코 분석센터는 다양한 첨단 화학 분석 장비를 기반으로 고객 맞춤형 분석 서비스를 제공합니다.

■ 코미코 화학 분석 장비 Line-up

코미코 분석센터의 대표적인 화학 분석 장비는 ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer) 입니다.

ICP-MS는 고온 플라즈마를 이용해 시료 속 원자를 증발·이온화한 뒤, 질량 분석기를 통해 특정 질량을 가진 이온의 수를 검출하는 장비입니다. 시료 속 금속 이온의 농도를 ppt(10⁻¹²) 수준까지 측정할 수 있어, 반도체 공정에서 발생하는 미량의 금속 오염까지도 정확히 모니터링할 수 있습니다.

코미코는 ICP-MS 분석 장비의 KOLAS 인증을 획득하여 국제 기준에 부합하는 데이터 품질을 보장함으로써, 고객사에 한층 더 객관적이고 신뢰할 수 있는 분석 결과를 제공하고 있습니다.

•  IC (Ion Chromatography) : 시료에 포함된 양이온과 음이온을 분리·정량 분석. 물질 내 이온 성분을 정밀하게 검출해 청정도와 안정성 평가에 활용

 

코미코는 ICP-MS 외에도 시료의 화학적 특성을 다각도로 평가할 수 있는 장비들을 운영하고 있습니다.  

• FT-NIR (Fourier Transform Near-Infrared Spectroscopy) : 근적외선 분광 분석을 통해 시료의 조성비를 수치화하는 장비
• TOC (Total Organic Carbon Analyzer, 총 유기탄소분석기) : 시료 속 유기물에 포함된 탄소 성분을 산화·분해해 농도를 측정함으로서 오염도, 청정도, 품질 기준 충족 여부 등을 평가하는 장비
• 전위차 적정기 (Potentiometric Titrator) : 적정 반응 중 발생하는 전위 변화를 기반으로 농도와 조성을 산출하는 장비

 

코미코의 화학 분석은 미세한 금속·이온·유기물까지 정밀하게 검출합니다. 이를 통해 공정 오염 관리와 품질 보증에 중요한 역할을 수행하고 있습니다.

앞으로도 코미코는 첨단 분석 기술과 축적된 노하우를 바탕으로, 고객사의 요구에 부응하는 맞춤형 화학 분석 솔루션을 제공하며 반도체 산업의 청정도와 신뢰성 확보에 기여하겠습니다.

 

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<About KoMiCo>

KoMiCo는 1996년 국내 최초로 반도체 장비 부품의 세정 및 코팅 서비스를 사업화한 기업으로, 미국, 중국, 대만, 싱가포르 등 글로벌 거점을 기반으로 세계 유수 반도체 기업들로부터 품질을 인증받은 Global No.1 기업입니다.

KoMiCo는 세정·코팅 신기술을 바탕으로 기존 사업의 고도화는 물론, OEM 반도체 장비용 핵심 부품 개발과 시장 확대를 통해 사업 영역을 지속적으로 확장하고 있습니다. 앞으로도 고객의 생산성과 수율 향상에 기여하며, 반도체 장비 부품 분야의 글로벌 선도 기업으로 나아가겠습니다.