[Analysis Insight] 반도체 청정도 검증을 위한 코미코 Particle 분석 기술

반도체 공정 환경에서는 미세한 Particle 하나만으로도 제품 불량이 유발될 수 있기에 부품의 청정도 확보는 품질 관리의 핵심입니다.

코미코 분석센터는 다양한 전문 Particle 분석 장비를 갖추어 세정 · 코팅 공정 후 제품의 잔류 Particle을 정밀하게 분석하고, 공정 안정성을 뒷받침합니다.

 

■ 코미코 Particle 분석 장비 Line-up

 

• PSM (Particle Solution Machine)

PSM은 코미코가 자체 개발한 분석 장비로, 반도체 장비 부품 중 Hole 내부의 Particle 잔류 여부를 정밀하게 검출합니다.

Hole 내부는 미세한 형태로 복잡한 구조를 가지고 있어 청정 관리가 매우 까다로운 영역입니다. 코미코는 이러한 구조적인 한계를 극복하기 위하여 PSM 측정 장비를 자체 제작하여 분석을 진행하고 있습니다. Hole 내부에 Gas를 강한 압력으로 주입하여, 0.1 μm 수준의 잔류된 Particle을 확인하고 이러한 데이터를 근거로 최적의 Cleaning Recipe를 구축하여 고객의 공정 안정성 향상에 기여하고 있습니다.

 

• SPD (Surface Particle Detector)

SPD는 코미코 자체 개발 장비로서, 반도체 장비의 표면에 남아있는 0.1 μm 수준의 잔류 Particle을 부유시켜 이를 측정하는 장비입니다. 세정 공정 후 부품 표면 청정도를 확인할 수 있어, 고객사 공정 중의 Particle 발생 가능성을 최소화하고 공정 안정성을 높일 수 있습니다.

 

• LPC (Liquid Particle Counter)

LPC는 초순수(Ultra Pure Water)에 부유하는 미립자의 상대적인 크기와 개수를 측정하는 장비입니다. 레이저를 용액에 조사하면, 입자에 의해 산란되는 빛의 양이 발생하는데 이를 감지하여 입자의 크기와 개수를 분석합니다.

Hole 내부, 표면, 액상 환경 등 다양한 조건에서 활용될 수 있는 것이 특징이며, 이를 통해 부품의 청정도를 보장하고, 공정 중 발생할 수 있는 잠재적 리스크를 사전에 차단할 수 있습니다.

 

앞으로도 코미코는 첨단 분석 장비와 축적된 노하우를 바탕으로, 반도체 산업의 품질과 신뢰성 향상에 기여하겠습니다.

 

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<About KoMiCo>

KoMiCo는 1996년 국내 최초로 반도체 장비 부품의 세정 및 코팅 서비스를 사업화한 기업으로, 미국, 중국, 대만, 싱가포르 등 글로벌 거점을 기반으로 세계 유수 반도체 기업들로부터 품질을 인증받은 Global No.1 기업입니다.

KoMiCo는 세정·코팅 신기술을 바탕으로 기존 사업의 고도화는 물론, OEM 반도체 장비용 핵심 부품 개발과 시장 확대를 통해 사업 영역을 지속적으로 확장하고 있습니다. 앞으로도 고객의 생산성과 수율 향상에 기여하며, 반도체 장비 부품 분야의 글로벌 선도 기업으로 나아가겠습니다.