[Analysis Insight] 반도체 부품 신뢰성을 높이는 코미코 물성 분석 솔루션

반도체 공정은 고온, 플라즈마, 화학 반응이 반복되는 극한 환경에서 이루어집니다. 이 과정에서 장비와 부품은 시간이 지나면서 마모되거나 표면 특성이 변하고, 이는 곧 공정 안정성과 수율에 직접적인 영향을 줍니다.

코미코는 자체 분석센터를 설립하여, 전문적인 물성 분석 솔루션을 통해 제품의 이상 유무를 확인하고 최적의 대응 방안을 구축하고 있습니다. 이를 통해 반도체 장비 부품의 품질 및 신뢰성 확보에 기여하고 있습니다.

■ 코미코 물성 분석 장비 Line-up

SEM-EDS (Scanning Electron Microscope / Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)는 코미코 분석센터의 대표적인 물성 분석 장비 중 하나입니다.

SEM은 전자빔을 시료 표면에 조사하여 생성되는 이차 전자(SE: Secondary Electrons)와 후방 산란전자(BSE: Backscattered Electrons)를 검출해 이미지를 형성하는 장비입니다. 시료의 미세 표면 구조, 코팅막의 균일성 및 형태 등을 고해상도로 관찰할 수 있어, 공정 중 문제의 원인을 규명하는 데 필수적인 역할을 합니다.

또한 EDS에서 전자빔 조사 시 발생하는 특성 X선을 검출하여 시료의 원소 성분을 정성/정량 분석할 수 있어 오염물의 성분이나 코팅 조성까지 함께 파악할 수 있습니다.

코미코는 SEM-EDS 분석 장비의 KOLAS(Korea Laboratory Accreditation Scheme, 한국인정기구) 인증을 획득하여 국제 기준에 맞는 분석 역량을 공식적으로 인정받았습니다. 이를 기반으로 고객사에 객관적이고 신뢰성 높은 분석 데이터를 제공하고 있습니다.

SEM-EDS 이외에도 코미코는 반도체 장비 부품과 소재의 물성을 다각도로 평가하기 위해 다음과 같은 다양한 장비를 보유하고 있습니다.

• Nano Indentor : nm 단위의 하중과 깊이를 측정해 Hardness, Elastic Modulus 등을 평가하는 장비. 초박막 코팅이나 나노 구조의 기계적 성질을 검증하는 데 최적화.
• Vickers Hardness Tester : 다이아몬드 피라미드 압입자를 사용해 소재의 경도를 산출하는 장비. 금속 기재나 코팅막의 내마모성 평가에 활용.
• NPM II  :  반사광 굴절률 분석을 통해 코팅막 두께를 비파괴 방식으로 측정하는 장비. 공정 중 코팅 두께 균일성을 빠르게 검증 가능.
  
  

코미코 분석센터의 물성 분석 솔루션은 부품의 표면 구조·경도·막 두께 등 다양한 물리적 특성을 정밀하게 진단합니다. 이를 통해 공정 최적화와 문제 해결에 실질적인 도움을 주며, 고객사의 장비 운영 안정성과 수율 개선에 기여하고 있습니다.

앞으로도 코미코는 첨단 분석 기술과 축적된 노하우를 바탕으로, 고객사의 요구에 부응하는 맞춤형 분석 솔루션을 제공해 나가겠습니다.

 

 

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<About KoMiCo>

KoMiCo는 1996년 국내 최초로 반도체 장비 부품의 세정 및 코팅 서비스를 사업화한 기업으로, 미국, 중국, 대만, 싱가포르 등 글로벌 거점을 기반으로 세계 유수 반도체 기업들로부터 품질을 인증받은 Global No.1 기업입니다.

KoMiCo는 세정·코팅 신기술을 바탕으로 기존 사업의 고도화는 물론, OEM 반도체 장비용 핵심 부품 개발과 시장 확대를 통해 사업 영역을 지속적으로 확장하고 있습니다. 앞으로도 고객의 생산성과 수율 향상에 기여하며, 반도체 장비 부품 분야의 글로벌 선도 기업으로 나아가겠습니다.