반도체 산업의 고도화에 따라, 장비 부품에 요구되는 신뢰성과 내환경성 수준도 점점 높아지고 있습니다. 반도체 산업 내에서 알루미늄 계열 소재는 우수한 경량성, 뛰어난 열전도성, 우수한 가공성을 바탕으로 다양한 장비 부품에 폭넓게 활용되고 있지만, 플라즈마 환경이나 화학물질에 대한 내성이 부족하다는 근본적인 한계를 지니고 있습니다.특히 극한의 온도와 화학 반응이 수반되는 반도체 공정 환경에서는 알루미늄의 표면이 쉽게 손상되어 장비 성능 저하나 부품 수명 단축으로 이어질 수 있습니다. 이에 따라 알루미늄의 본래 특성은 유지하면서도, 내식성·경도·절연성과 같은 기능적 특성을 강화할 수 있는 표면 처리 기술에 대한 수요가 꾸준히 증가하고 있습니다.이번 글에서는 이러한 요구에 효과적으로 대응하는 대표적인 기술인 ..