반도체 공정에서 ‘파티클(particle)’은 단순한 오염 요소를 넘어 수율에 직접적인 영향을 주는 치명적인 변수입니다. 특히 나노미터 단위로 패턴이 구성되는 식각(Etch) 및 증착(Deposition) 공정에서는 미세한 오염조차 불량률 상승으로 이어지며, 생산성 저하와 수익성 악화를 유발합니다.이러한 까다로운 환경 속에서 주목받고 있는 코팅 기술이 AD Coating (Aerosol Deposition Coating)입니다. AD Coating은 특히 파티클 발생 억제 측면에서 뛰어난 성능을 보여주며, 차세대 반도체 장비용 코팅 솔루션으로 각광받고 있습니다. 이번 글에서는 AD Coating이란 무엇인지, 어떤 기술적 원리와 구조적 특성을 통해 파티클을 효과적으로 제어하는지에 대해 소개하겠습니다.■ ..

반도체 공정이 초미세화되고 고집적화되면서, 장비 부품이 노출되는 플라즈마 환경은 갈수록 더 극한의 조건으로 치닫고 있습니다. 특히 Etching(식각) 공정에서는 고에너지 이온과 반응성 라디컬이 장비 내벽과 구성 부품을 지속적으로 침식시키며, 파티클 발생 및 수율 저하라는 중대한 공정 리스크를 유발합니다.이러한 문제를 해결하기 위해, 최근에는 YF₃ 및 Y-O-F 기반의 APS(Atmospheric Plasma Spray) 코팅 기술이 주목받고 있습니다. 오늘 소개할 FineCera™와 SF™는 KoMiCo가 개발한 F 계열 고기능 세라믹 코팅으로, 고플라즈마 환경에서의 화학적 안정성, 파티클 억제 성능, Seasoning Time 단축 등의 면에서 탁월한 효과를 보여주고 있습니다.■ 기존 소재의 한계를..

As semiconductor processes continue to advance toward extreme miniaturization and high integration, the operational environments that process equipment must endure are becoming increasingly harsh. In particular, during the etching process, high-energy plasma and reactive ions continuously erode the inner walls and components of the equipment. This erosion poses a serious threat to both the equip..

반도체 공정이 초미세화·고집적화되면서, 공정 장비가 견뎌야 할 환경은 갈수록 더 극한으로 치닫고 있습니다. 특히 Etching(식각) 공정에서는 고에너지 플라즈마와 반응성 이온이 지속적으로 장비 내벽과 구성 부품을 침식시키며, 장비 수명과 공정 안정성을 위협하는 주요 원인이 됩니다. 이러한 환경 속에서 핵심 부품을 보호하기 위한 기술로 주목받고 있는 것이 바로 YAG 소재의 APS Coating 입니다.■ 왜 YAG 인가? : Y₂O₃와 Al₂O₃의 한계를 넘어서다APS(Atmospheric Plasma Spray) 코팅은 세라믹 분말을 플라즈마 열원을 이용해 녹이고, 고속 분사하여 장비 표면에 견고한 보호막을 형성하는 기술입니다. 이때 어떤 세라믹 소재를 사용하는가에 따라 코팅의 성능은 크게 달라집니다..

2025년 2월 19일부터 21일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아 2025 (SEMICON KOREA 2025)에 코미코가 참가하였습니다. 이번 전시회에서 코미코는 최첨단 세정 및 코팅 솔루션을 선보이며, 많은 고객 및 업계 관계자분들과 의미 있는 시간을 보냈습니다. ◆ 세미콘 코리아란?세미콘 코리아(SEMICON KOREA)는 세계 최대 규모의 반도체 산업 전시회 중 하나로, 매년 글로벌 반도체 제조 기업과 협력업체들이 한자리에 모여 최신 기술과 트렌드를 공유하는 자리입니다. 2025년 행사 역시 반도체 공정 혁신, AI 반도체, 첨단 패키징 기술 등 다양한 주제를 다루며, 글로벌 주요 기업들이 대거 참여하였습니다.  |  코미코의 전시 내용이번 세미콘 코리아 2025에서 코미코는 반도체 장비..

KoMiCo, TSMC 2024 우수 협력사 선정 2024년 12월 2일, KoMiCo는 세계적인 반도체 제조업체 TSMC가 주관한 ‘TSMC 2024 Supply Chain Management Forum’에서 ‘Global Support’ 부문 우수 협력사로 선정되는 영예를 안았습니다. 이는 TSMC와 KoMiCo가 지속적으로 협력하며 혁신적인 성과를 만들어낸 결과입니다.2022년부터 KoMiCo는 TSMC의 Arizona Fab 프로젝트에서 중요한 역할을 해왔습니다. KoMiCo의 Austin 법인과 Hsinchu 법인은 공동으로 TSMC Arizona Fab에서 필요한 세정 제품에 대해 공동 대응을 진행하였으며, 제품 평가 및 양산 과정을 빠르게 완료하였습니다. 이러한 노력을 통해 TSMC AZ F..

코미코가 2024년 10월 23일부터 25일까지 서울 코엑스에서 열리는 SEDEX(반도체 대전)에 참가하게 되었습니다. SEDEX는 국내 반도체 산업을 대표하는 주요 전시회로, 최신 반도체 기술과 솔루션을 만나볼 수 있는 자리입니다.코미코는 이번 전시회에서 반도체 장비 및 부품 세정, 코팅 서비스의 핵심 기술을 선보일 예정입니다. 특히 고품질 세정 솔루션과 정밀 코팅 기술로 반도체 장비의 효율성과 내구성을 극대화하는 다양한 솔루션을 소개할 계획입니다. 전시 일정 및 장소일정: 2024년 10월 23일(수) ~ 10월 25일(금)장소: 코엑스 3층 C홀 또한 코미코의 부스에서는 특별 기술 상담을 진행하며 세정 및 코팅 분야에서의 코미코의 기술력과 차별화된 솔루션을 직접 경험하실 수 있습니다. 여러분의 많은..

#코미코의 숨겨진 휴식 공간, Refresh Space 대공개!그동안 공개하지 않았던 코미코의 사내 휴식공간을 소개하는 코너입니다! 바쁜 일상 속에서 업무와 휴식의 완벽한 밸런스를 찾는 건 매우 중요하죠. 그런 여러분을 위해 준비된 코미코의 히든 플레이스, F동 5층에 위치한 Refresh space를 소개합니다! 코미코의 F동 5층에 가면 카페 감성 가득한 Refresh Space가 있는데요. 당구장, 탁구장, 휴게실, 수면실 그리고 아직 베일에 싸여 있는 헬스장까지. 이곳에서는 다양한 방법으로 몸과 마음을 재충전할 수 있답니다. 그럼, 지금부터 하나하나 자세히 소개해드릴게요!Refresh Space는 코미코 임직원들이 업무를 수행하면서 편하게 쉴 수 있도록 다양한 휴식 공간들이 마련되어 있습니다.그 ..

지역과 함께 성장하는 코미코, 아이들에게 배움의 기회를 선물하다경기도 안성시 대덕초등학교의 운동장과 교실이 환한 웃음소리로 가득 찼습니다. 반도체 장비 부품 세정 및 코팅 전문기업 코미코(KoMiCo)가 펼친 특별한 재능기부 활동 덕분입니다. 코미코는 산학협력활동의 일환으로, 임직원들이 직접 대덕초등학교를 찾아가 아이들에게 배움의 기회를 제공하는 다양한 프로그램을 운영하며 지역사회와 따뜻한 나눔을 실천하고 있습니다.#스포츠부터 창의활동까지, 다채로운 배움의 장열어이번 재능기부 캠페인은 9월 한 달 동안 총 4개의 프로그램으로 운영되었습니다. 코미코 임직원들은 각자의 재능을 발휘하여 탁구, 배드민턴, 종이접기, 축구 교실을 마련하고, 학생들과 함께 배우고 즐기며 의미 있는 시간을 보냈습니다.탁구 교실에서는..