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2025/05/09 1

[KoMiCo Lab] The Evolution of APS Ceramic Coatings ① : From Al₂O₃ to Y₂O₃

As semiconductor processes become more miniaturized and complex, the importance of technologies that ensure the durability of equipment components and the stability of processes is also increasing. One of the key technologies for protecting component surfaces under extreme environments—such as plasma exposure—is Thermal Spray Coating.As the name suggests, thermal spray coating is a technique tha..

Business 2025.05.09
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