코미코하면 제일 먼저 떠오르는 키워드 두 가지!
바로 특수코팅과 정밀세정입니다.
그 중 특수코팅은 반도체 장비 챔버 부품 표면에 적용해 공정조건 안정과 제품의 수명을 연장시킬 수 있는 필수적인 공정으로, 고객사 공정에 최적화된 다양한 종류의 코팅기술을 개발 및 제공하고 있습니다.
코미코의 특수코팅이 적용되면 챔버의 조건을 안정시킴으로써 제품의 수명 연장 및 생산수율, 가동율이 향상되어 고객사의 원가절감에 도움을 줄 수 있습니다.
코미코의 주요 코팅기술
코미코의 주요 코팅기술은 크게 5 가지로 나누어집니다.
이 코팅기술들은 각각 사용 목적 등의 기준에 따라 세부적으로 분류되어 고객사의 10nm 이하 차세대 기술에 대응하고 있습니다.
코미코 특수코팅 - 세라믹 코팅
세라믹 코팅 중APS(Y203, FineCera™, SF™)는 반도체 부품의 플라즈마 저항 특성 부여를 통한 파티클 제어 및 공정 안정화 목적으로 적용됩니다.
표면 고밀도화를 통한 플라즈마 저항 특성 향상 및 파티클 발생 제어를 위해선 AD(NOVA™)가 사용되며 PVD(CF™)는 초고밀도 및 초평탄화를 통한 플라즈마 저항 극대화로 파티클 발생 제어, Seasoning Time 단축, CD drift 제어를 위해 쓰입니다.
ALD(EGB™)는 원자 단위의 초 고밀도 코팅층으로 모재 부식 및 Outgassing 방지, Particle 제어 및 공정 안정화를 위해 쓰입니다
코미코 특수코팅 - 메탈 코팅
메탈코팅은 Arc Coating과 오염물 간 Adhesion 향상으로, 오염물이 균일하게 Depo. 되어 안정적인 제어를 할 수 있기 위한 목적으로 ARC(ARC, SurfTex-1, SurTex-2) 기술이 사용됩니다.
기본 ARC는 안정적인 Byproduct Depo.를 유도합니다. SurfTex-1은 Particle 및 Peel off 제어 효과가 있으며, SurtTex-2의 경우, Pattern 형성에 의한 오염물 Depo 증가로 공정 PM주기를 연장해줍니다.
코미코 특수코팅 – 아노다이징
아노다이징은 Anode(양극)과 Oxidizing(산화)의 합성어로, 반도체 부품의 절연 특성을 부여하고 외관을 보호하기 위한 코팅 기술입니다.
아노다이징은 경도(400~500)와 내절연 특성이 우수한 황산법과 내식성이 우수한 수산법으로 나누어지며, 고객사 공정에 따라 적합한 특성을 가진 기술이 제공되고 있습니다.
미국, 중국, 대만, 싱가포르 등 수많은 글로벌 반도체 기업에서 코미코의 특수코팅 기술을 경험하고 있습니다. 코미코의 차별화된 반도체 특수코팅 기술로 제품수명을 연장시키고, 생산수율과 가동율을 향상시켜 보세요.
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국내 최초 반도체 세정 기술 도입! 코미코 정밀세정
코미코는 1996년 국내 최초로 반도체 부품 세정·코팅 서비스를 사업화한 정밀세정·특수코팅 선도기업입니다. 시작이 앞섰던 만큼, 코미코의 세정·코팅 서비스에는 풍부한 경험과 노하우가 녹
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